Metrologie

Zuverlässige und genaue Bildgebungsautomatisierung für zelluläres Screening

Die mikroskopiebasierte Metrologie beruht auf einer leistungsstarken Bewegung in Verbindung mit einer hochwertigen Optik. Die Charakterisierung und Messung von Komponenten ist für die Fertigung von entscheidender Bedeutung und kann je nach Mikroskop auf verschiedene Weise erfolgen.

Kontrastbasierte Informationen können zur Bestimmung der Topografie in Abhängigkeit vom Fokus verwendet werden. Geschlossene Tischbewegungen helfen, die relative seitliche Position von Objekten präzise zu bestimmen. High-End-Mikroskopietechniken wie die Rasterkraftmikroskopie können diese Prinzipien unter extrem hochauflösenden Bedingungen anwenden und genaue Messungen sogar im Pikometerbereich durchführen.

Fehleranalyse und Konformität

Mit Hilfe der Metrologie lässt sich feststellen, ob eine industrielle Norm oder eine Konstruktionsspezifikation eingehalten wird. Die Abweichung von einer der beiden Normen ermöglicht es, die Probe als korrekt einzustufen, oder liefert statistische Daten, die auf einen Fehler hindeuten. Mit einem Metrologiemikroskop sind verschiedene Messungen möglich, darunter:

Oberflächenanalyse: Rauheits- und Welligkeitsmessungen im Sub-Nanometerbereich können mit der Rasterkraftmikroskopie oder der Elektronenmikroskopie durchgeführt werden, wobei Messungen im niedrigen Nanometerbereich mit der konfokalen Mikroskopie oder der Weißlichtinterferometrie in Kombination mit einer Hochleistungsmikroskopie-Automatisierung möglich sind.

3D-Messung: Topografische Profile von Objekten mit geringer Mikrometerauflösung können mit konventionellen Mikroskopoptiken in Kombination mit Automatisierung erstellt werden, wobei höhere Auflösungen mit AFM, Elektronenmikroskopie oder anderen Methoden möglich sind.

Merkmalsidentifizierung: Bei niedrigeren Auflösungen kann die Bildgebungsmethode einen großen Einfluss auf die Qualität der Messungen haben. Dunkelfeldbeleuchtung oder differentieller Interferenzkontrast (DIC) können zur Identifizierung spezifischer Merkmale verwendet werden, die mit der Standard-Hellfeldmikroskopie nicht leicht zu erkennen sind.

Geschlossener Automatisierungskreislauf von Mikroskopieexperten

Wir verfügen über mehr als 30 Jahre Erfahrung in der Herstellung von Komponenten für die Mikroskop-Automatisierung, von herkömmlichen Erweiterungen für Verbundmikroskope bis hin zu marktführender Nanopositionierungstechnologie.

Hochwertige lineare Kodierung und umfangreiche Testverfahren gewährleisten, dass unsere ProScan III-Tischsysteme die für die Mikroskopie mit Submikrometer-Auflösung erforderlichen Standards erfüllen.

Unsere Queensgate-Nanopositionierungstechnologie basiert auf kapazitiven Sensoren und rauscharmer Elektronik und ermöglicht Messungen im Pikometerbereich. Unsere Produkte, wie z. B. das NPS-XY-100A, sind bewährte Ergänzungen zu High-End-Mikroskopietechniken wie dem AFM.